特許
J-GLOBAL ID：200903086745132178

プローブ装置

発明者：
三浦 一佳

三浦 一佳 について

, 
小山内 康晃

小山内 康晃 について

, 
福士 俊雄

福士 俊雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (3件)： 松永 宣行 ,  小合 宗一 ,  佐藤 玲太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-091046
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274487
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 プローブ組立体の位置調整を容易にすることにある。【解決手段】 プローブ装置は、開口を形成するフレームと、開口と平行の面内を伸びる第1の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、第1の方向における複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具とを含む。位置決め具は、第1の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく第2の方向に開放すると共に前記面と交差する第3の方向に開放する複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、位置決め部材及び凹所の他方を含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
開口を形成するフレームと、前記開口と平行の面内を伸びる第1の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、前記第1の方向における前記複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具とを含み、 前記位置決め具は、前記第1の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を前記第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、前記複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第2の方向に開放すると共に前記面と交差する第3の方向に開放する複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、前記位置決め部材及び前記凹所の他方を含む、プローブ装置。
IPC (5件)：
G01R1/06 ,  G01R1/073 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1345 ,  G09F9/00
FI (5件)：
G01R1/06 E ,  G01R1/073 D ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1345 ,  G09F9/00 352
Fターム (21件)：
2G011AA15 ,  2G011AB04 ,  2G011AB05 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G011AF07 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H092MA35 ,  2H092MA57 ,  2H092NA30 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (11件)
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