特許
J-GLOBAL ID：201303080463749967
検査装置および検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-033781
公開番号（公開出願番号）：特開2013-170864
出願日： 2012年02月20日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：
【課題】半導体素子について、安価に電磁波を発生させて検査できる技術を提供することを目的とする。【解決手段】検査装置100は、波長の異なる2つのレーザ光を出射する波長可変レーザ121,121と、これらのレーザ光を混合するカプラ123とを有する照射部12を備えている。また、検査装置100は、カプラ123により混合された2つのレーザ光の照射に応じて太陽電池パネル90から発生する電磁波を検出する検出部13と、太陽電池パネル90の有するバンドギャップの大きさに応じて、波長可変レーザ121,121のうち一方または双方が出射するレーザ光の波長を変更する波長変更部23を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体素子を検査する検査装置であって、
波長の異なる2つのレーザ光を混合して、前記半導体素子に照射する照射部と、
混合された前記2つのレーザ光の照射に応じて前記半導体素子から発生する電磁波を検出する検出部と、
前記半導体素子の有するバンドギャップの大きさに応じて、前記2つのレーザ光のうち、少なくとも一方の波長を変更する波長変更部と、
を備えている検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/35 Z
, H01L21/66 C
2G059AA05
, 2G059BB16
, 2G059EE09
, 2G059GG01
, 2G059GG03
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059KK10
, 4M106AA01
, 4M106AA20
, 4M106BA05
, 4M106BA20
, 4M106CA20
