特許
J-GLOBAL ID：201303081126485539
保護テープ剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
川村 恭子
, 佐々木 功
, 久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-030530
公開番号（公開出願番号）：特開2013-168488
出願日： 2012年02月15日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
【課題】剥離テーブルに保持された板状ワークから保護テープを剥離する際に、板状ワークが剥離テーブルから引き離されるのを防止する。【解決手段】剥離テーブル2を、板状ワークWの中央部を吸引する中央エリア20と、中央エリア20を囲み板状ワークWの中央部よりも外周側を吸引する外周エリア21とに分割し、中央エリア20と外周エリア21とは、それぞれが別々の吸引源24,26に接続され、外周エリア21に作用する吸引力を中央エリア20に作用する吸引力よりも強くすることで、剥離テーブル2に保持された板状ワークWに貼着された保護テープ10を板状ワークWから剥離する際に、板状ワークWが剥離テーブル2から離れるのを防ぐことができ、保護テープ10を円滑に剥離することができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
表面に保護テープが貼着された板状ワークの裏面を吸引保持する剥離テーブルと、
該保護テープより粘着力が強い剥離テープの一部が該保護テープの外周側にはみ出して該保護テープに貼着されることにより該剥離テープに形成されたはみ出し部を掴む掴持部と、
を備え、
該はみ出し部を掴んだ掴持部を該板状ワークの表面から離間する方向に動作させ、該保護テープを該板状ワークから剥離する保護テープ剥離装置であって、
該剥離テーブルは、該板状ワークの中央部を吸引する中央エリアと、該中央エリアを囲み該板状ワークの中央部よりも外周側を吸引する外周エリアとに分割され、
該中央エリアと該外周エリアとは、それぞれが別々の吸引源に接続され、該外周エリアに作用する吸引力を該中央エリアに作用する吸引力よりも強くすることを可能にした保護テープ剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
H01L21/68 N
, H01L21/304 622P
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA14
, 5F031MA38
, 5F031PA20
, 5F031PA30
, 5F057BA11
, 5F057CA25
, 5F057DA11
, 5F057FA30
