特許
J-GLOBAL ID：201303081481257407
形状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-125064
公開番号（公開出願番号）：特開2013-250152
出願日： 2012年05月31日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】走査時の運動誤差が解消できるとともに、デッドパスに起因する誤差を解消でき、かつ測定領域の制約を緩和できる形状測定機を提供する。【解決手段】形状測定機10は、形状を測定すべき表面2を有するワーク1に対して相対位置が固定された固定部材11と、固定部材11に支持されかつ固定部材11に対してワーク1の表面に沿った走査方向へ移動可能な走査部材12と、走査方向に沿ってワーク1の表面2の変位を検出するレーザ干渉計20とを有し、レーザ干渉計20は、走査部材12に設置された偏光ビームスプリッタ221と、固定部材11に対して固定された参照鏡23と、偏光ビームスプリッタ221からワーク1に向かう測定光路Pmと、偏光ビームスプリッタ221から参照鏡23に至る参照光路Prとを有し、測定光路Pmの光路長Lmと参照光路Prの光路長Lr(=Lr1+Lr2)との差が所定の許容誤差以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
形状を測定すべき表面を有するワークに対して相対位置が固定された固定部材と、前記固定部材に支持されかつ前記固定部材に対して前記ワークの表面に沿った走査方向へ移動可能な走査部材と、前記固定部材に設けられ前記走査方向に沿って前記ワークの表面の変位を検出する干渉計とを有し、
前記干渉計は、前記走査部材に設置されて前記光源からの光を参照光と測定光とに分割する偏光ビームスプリッタと、前記固定部材に対して固定された参照鏡と、前記測定光の光路として前記偏光ビームスプリッタから前記ワークに向かう測定光路と、前記参照光の光路として前記偏光ビームスプリッタから前記参照鏡に至る参照光路とを有し、前記測定光路の光路長と前記参照光路の光路長との差が所定の許容誤差以下であることを特徴とする形状測定機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
2F062AA62
, 2F062EE01
, 2F062EE62
, 2F062FF03
, 2F062GG41
, 2F062GG75
, 2F062HH05
, 2F062HH14
, 2F062HH33
, 2F064AA09
, 2F064EE01
, 2F064EE02
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG44
