光干渉測定装置および形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-137064
公開番号（公開出願番号）：特開2012-002631
出願日： 2010年06月16日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：

【課題】測定に必要な干渉信号のS/Nを低下させることなく、高精度な光干渉測定を実行可能な光干渉測定装置を提供すること。【解決手段】第一面12Aから内部を透過して第二面12Bへ直角に入射される透過光の一部を反射して参照光54にするとともに、反射しないで透過光を第二面12Bから出射する参照鏡12と、第二面12Bからの透過光の進行方向に沿って変位自在で、透過光を反射する可変反射体36と、可変反射体36からの反射光のうち参照鏡12を透過する光を測定光56として、該測定光56と参照光54との干渉光58を検出する干渉光検出手段30とを備える。参照鏡12と可変反射体36との間に光減衰手段76を配置する。光減衰手段76は、参照鏡12と可変反射体36との間を往復する光を減衰させて、ここで生じる多重反射光75による干渉ノイズを低減する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

対向する第一面と第二面を有し、前記第一面から内部を透過して第二面へ直角に入射される透過光の一部を前記第二面で反射して参照光にするとともに、反射しない前記透過光を第二面から出射する参照鏡と、前記第二面から出射した透過光の進行方向に設けられ、該進行方向に沿って変位自在で、前記透過光をもと来た方向に反射する可変反射体と、前記可変反射体からの反射光のうち前記参照鏡を透過する光を測定光として、該測定光と前記参照鏡の第一面から同方向に進む前記参照光とを干渉させて、該干渉光を検出する干渉光検出手段と、検出干渉光に基づいて前記参照鏡に対する前記可変反射体の変位量を取得する変位量取得手段と、を備え、さらに、前記参照鏡と可変反射体との間の光軸上に配置された光減衰手段を備え、該光減衰手段は、前記参照鏡の第二面と前記可変反射体との間を往復する光を減衰させて、該参照鏡と可変反射体との間に生じる多重反射光に基づく前記検出干渉光中の干渉ノイズを低減することを特徴とする光干渉測定装置。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01Q 20/02 , G01Q 60/24

FI (3件)：

G01B9/02 , G01N13/10 111C , G01N13/16 101

Fターム (14件)：

2F064AA09 , 2F064CC01 , 2F064CC10 , 2F064DD08 , 2F064EE05 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG20 , 2F064GG22 , 2F064GG38 , 2F064GG44 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01

引用特許：

審査官引用 (8件)

レンズの透過性能測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-057212 出願人：コニカ株式会社
基板外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-230488 出願人：花王株式会社
測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-226827 出願人：株式会社ミツトヨ

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