特許
J-GLOBAL ID:201303082283149336

湿度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-085266
公開番号(公開出願番号):特開2013-213790
出願日: 2012年04月04日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
【課題】湿度センサ1において、回路チップ20から発生する熱によって湿度の検出誤差が生じることを抑制する。【解決手段】湿度センサ1において、透湿層70は、多孔質材料によって感湿膜11を覆うように形成されている。このため、透湿層70によって、感湿膜11に対して回路チップ20から発生する熱が伝わり難くなる。よって、感湿膜11の温度上昇が抑制できる。このため、湿度センサ1において、回路チップ20から発生する熱によって湿度センサ1における湿度の検出誤差が生じることを抑制することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
湿度を検出するセンシング部(11)を有してこのセンシング部で検出された湿度を示す検出信号を出力するセンサチップ(10)と、 前記センサチップから出力される検出信号を信号処理する回路チップ(20)と、 前記センシング部を多孔質体によって覆うように形成される透湿層(70)と、を備え、 前記センシング部は、前記透湿層を通過する空気の前記湿度を検出するようになっていることを特徴とする湿度センサ。
IPC (1件):
G01N 27/22
FI (1件):
G01N27/22 A
Fターム (7件):
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060HC02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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