特許
J-GLOBAL ID:201303083383067139

累積型化学・物理現象検出装置及びその制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小西 富雅 ,  中村 知公
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-078850
公開番号(公開出願番号):特開2013-174602
出願日: 2013年04月04日
公開日(公表日): 2013年09月05日
要約:
【課題】累積型化学・物理現象検出装置の感度を向上させる。【解決手段】累積型化学・物理現象検出装置のセンシング部に連続して除去井戸50を設け、センシング部の電荷をフローティングディフュージョン部へ移送する前に、センシング部と電荷注入調節部2との間に形成されるポテンシャルのこぶ51,52により該センシング部に残存する電荷をセンシング部から除去井戸へ逃がし、検出対象である化学・物理現象と無関係にセンシング部に蓄積される電荷を除去することにより感度を向上させる。【選択図】図10
請求項(抜粋):
化学/物理現象に対応してポテンシャルが変化するセンシング部と、 前記センシング部へ電荷を供給する電荷供給部と、 前記センシング部と前記電荷供給部との間に存在する電荷注入調節部と、 前記センシング部から移送された電荷を蓄積するフローティングディフュージョン部と、を備え、 前記電荷供給部の電位を下げて前記センシング部へ電荷を供給する状態から前記電荷供給部の電位を上げることによって前記センシング部の電荷がすり切られる累積型化学・物理現象検出装置であって、 前記センシング部に連続する除去井戸が形成され、 前記電荷注入調節部に対応する電荷制御電極と前記除去井戸に対応する除去電極とが設けられて、それぞれ独立して制御される、累積型化学・物理現象検出装置。
IPC (1件):
G01N 27/414
FI (1件):
G01N27/30 301Z
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (11件)
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引用文献:
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