特許
J-GLOBAL ID：201303085371732520
原子発振器の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-274933
公開番号（公開出願番号）：特開2013-125907
出願日： 2011年12月15日
公開日（公表日）： 2013年06月24日
要約：
【課題】低コストで信頼性の高い原子発振器を提供する。【解決手段】第2の基板20を貫通する第1の穴21と第2の穴22を形成し、第2の基板20に第1の穴21と第2の穴22とを連結する連結溝23を形成する工程と、第2の穴22の形成されている領域にアルカリ金属発生剤40を入れ、第2の基板20の一方の面に透明な第1の基板10を接合し、第2の基板20の他方の面に透明な第3の基板30を接合する基板接合工程と、アルカリ金属発生剤40を加熱しアルカリ金属ガス41を発生させ、連結溝23を介し発生したアルカリ金属ガス41を第1の穴21の形成されている領域内に供給する工程と、連結溝23の形成されている領域において、第1の基板10を変形させて、第1の基板10を第2の基板20に接合し、第1の穴21と第2の穴22との間を遮断する工程とにより、第1の穴21の形成されている領域にアルカリ金属ガス41を封入する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
光源よりアルカリ金属を封入したアルカリ金属セルに光を照射し、前記アルカリ金属セルを透過した光を光検出器により検出することにより、2種類の共鳴光による量子干渉効果による光吸収特性により発振周波数を制御する原子発振器の製造方法において、
第2の基板に前記第2の基板を貫通する第1の穴と第2の穴を形成し、透明な第1の基板または前記第2の基板に前記第1の穴と前記第2の穴とを連結する連結溝を形成する工程と、
前記第2の基板の前記第2の穴の形成されている領域にアルカリ金属発生剤を入れ、前記第2の基板の一方の面に前記第1の基板を接合し、前記第2の基板の他方の面に透明な第3の基板を接合する基板接合工程と、
前記アルカリ金属発生剤を加熱しアルカリ金属ガスを発生させ、前記連結溝を介し発生した前記アルカリ金属ガスを前記第1の穴の形成されている領域内に供給する工程と、
前記連結溝の形成されている領域において、前記第1の基板を変形させて、前記第1の基板を前記第2の基板に接合し、前記第1の穴と前記第2の穴との間を遮断する工程と、
を有し、
前記第1の穴が形成されている領域を含む部分により、前記アルカリ金属セルが形成されることを特徴とする原子発振器の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
引用文献：
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