ウェーハカセット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 菅野亨 , 溝口勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-015506
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157395
出願日： 2012年01月27日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】搬送時の衝撃などに起因するウェーハの破損の恐れを低下させたウェーハカセットを提供すること。【解決手段】ウェーハ(W1)又は粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレーム(F1)を複数枚収容するためのウェーハカセット(4,4a)であって、対向する側板(41a,41b)に複数形成されたウェーハ又は環状フレームを収容する収容棚(42)と、ウェーハ又は環状フレームを出し入れする開口部(O1)と、ウェーハ又は環状フレームを背部(E1,E1a,E1b)で支持する背止部(41c)と、収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームの搬出を規制する規制部(44)と、背止部に配設された弾性部材(43,43a,43b)と、を備え、収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームは規制部と弾性部材とで挟持されるようにした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウェーハ又は粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するためのウェーハカセットであって、対向する側板に複数形成されたウェーハ又は環状フレームを収容する収容棚と、ウェーハ又は環状フレームを出し入れする開口部と、ウェーハ又は環状フレームを背部で支持する背止部と、前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームの搬出を規制する規制部と、前記背止部に配設された弾性部材と、を備え、前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームは前記規制部と前記弾性部材とで挟持されることを特徴とするウェーハカセット。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 V , B65D85/38 R

Fターム (16件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CA05 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA05 , 3E096EA07Y , 3E096FA09 , 3E096GA11 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA13 , 5F031EA09 , 5F031EA10 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (7件)

基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-307049 出願人：信越ポリマー株式会社
処理治具用の収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-016022 出願人：信越ポリマー株式会社
特許第4414681号

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