特許
J-GLOBAL ID：200903044576799490

半導体ウエーハの搬送容器及び搬送方法

発明者：
今 信一

今 信一 について

, 
平野 好宏

平野 好宏 について

, 
藤山 桂

藤山 桂 について


出願人/特許権者：
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-145198
公開番号（公開出願番号）：特開2005-327927
出願日： 2004年05月14日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】半導体ウエーハを搬送する際、容器内に収納されているウエーハの飛び出しを確実に防ぐとともに、ウエーハを処理する際にはウエーハを容易に出し入れすることができる半導体ウエーハの搬送容器及び搬送方法を提供する。【解決手段】半導体ウエーハを収納して装置間を搬送するための容器であって、少なくとも、前面にウエーハを出し入れするための開口部9と、内側の左右の側面にウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部6とを有する容器本体5と、該容器本体の前記開口部の左右にそれぞれ設けられた開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材2とを具備し、該ウエーハ脱落防止部材2を閉じることにより前記開口部を塞いで容器に収納されているウエーハが飛び出すことを防ぎ、該ウエーハ脱落防止部材を開くことにより前記容器本体の開口部からウエーハを出し入れすることができるものであることを特徴とする半導体ウエーハの搬送容器1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体ウエーハを収納して装置間を搬送するための容器であって、少なくとも、前面にウエーハを出し入れするための開口部と、内側の左右の側面にウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部とを有する容器本体と、該容器本体の前記開口部の左右にそれぞれ設けられた開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材とを具備し、該ウエーハ脱落防止部材を閉じることにより前記開口部を塞いで容器に収納されているウエーハが飛び出すことを防ぎ、該ウエーハ脱落防止部材を開くことにより前記容器本体の開口部からウエーハを出し入れすることができるものであることを特徴とする半導体ウエーハの搬送容器。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (2件)：
H01L21/68 V ,  H01L21/68 A
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA09 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA58 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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