陰極体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：池田憲保 , 福田修一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-283083
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101946
出願日： 2012年12月26日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】面発光型蛍光発光装置において、十分な電子放出効率が得られる陰極の製造方法および構造を提供する。【解決手段】タングステンまたはモリブデンからなる電極層1の上に、Ru又はYを構成材料とし電子放出層よりも小さい抵抗率を有する導電性の第2の層2を、スパッタにより1nmから200nmの厚さに成膜し、第2の層2の上に電子放出層として、仕事関数が第2の層2の金属よりも小さく、且つ3.6eV以下の希土類材料からなる層をリアクティブスパッタにより1原子層から10nmの間の膜厚に積層形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

タングステンまたはモリブデンからなる電極層、第2の層、電子放出層が順次積層されてなる陰極体の製造方法において、前記電極層上に、スパッタ成膜してRuまたはYを構成材料とする第2の層を前記電子放出層よりも小さい抵抗率を有し厚さ1nmから200nmの間の膜厚を有する導電性の層として形成し、次いで、前記第2の層上に、前記電子放出層を、リアクティブスパッタ成膜して前記電極層の金属よりも小さな仕事関数を有し仕事関数が3.6eV以下の希土類の材料からなる層として1原子層から10nmの間の膜厚に形成することを特徴とする陰極体の製造方法。

IPC (1件)：

H01J 9/02

FI (1件)：

H01J9/02 B

Fターム (10件)：

5C127AA01 , 5C127BA03 , 5C127BB00 , 5C127BB18 , 5C127CC03 , 5C127CC70 , 5C127DD07 , 5C127DD38 , 5C127DD99 , 5C127EE02

引用特許：

審査官引用 (7件)

冷陰極電界電子放出表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-030616 出願人：ソニー株式会社
電界放出陰極及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-149910 出願人：富士通株式会社
特開平2-220337

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