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J-GLOBAL ID:201402207853742452   整理番号:14A0408815

超精密ステージにおけるオイラーの運動方程式と物体座標系の回転の非線形性と軸間干渉を補償した姿勢制御法

Attitude Control Method for High-Precision Stage by Compensating for Nonlinearity and Coupling Arising from Euler’s Equation and Coordinate Rotation
著者 (6件):
資料名:
巻: 134  号:ページ: 293-300 (J-STAGE)  発行年: 2014年 
JST資料番号: X0451A  ISSN: 0913-6339  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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超精密ステージにおける回転運動に起因する非線形性と軸間干渉をFF補償する多入力他出力の非線形FF制御器を提案しシミュレーションと姿勢制御の比較実験により有効性を示した。回転運動を記述するオイラーの運動方程式に非線形性と軸間干渉が存在することを示した。従来の回転運動を線形近似したFF制御器の概要と設計方法を示した。非線形性と軸間干渉を補償したFF制御器の設計を示し,角速度指令値とFFトルク指令値による運動学と動力学の補償を示した。提案FF制御器を従来FF制御器と比較するシミュレーションおよび姿勢制御の比較実験により追従誤差が低減することを示した。提案法による計算量の増加についてはオフライン計算によるテーブル実装等により対応可能と述べた。
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分類 (1件):
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その他の制御機器 
引用文献 (17件):
  • (1) K. Saiki: “Call me Mr. Control Guy!”, ISCIE Journal `Systems, Control and Information', Vol. 52, No. 12, pp. 463-466 (2008-12) (in Japanese)
  • 佐伯和明:「制御屋と呼ばれたい」, システム制御情報学会誌, Vol. 52, No. 12, pp. 463-466 (2008-12)
  • (2) H. Fujimoto, Y. Hori, and A. Kawamura: “Perfect tracking control based on multirate feedforward control with generalized sampling periods”, IEEE Trans. Industrial Electronics, Vol. 48, No. 3, pp. 636-644 (2001-6)
  • (3) K. Saiki, A. Hara, K. Sakata, and H. Fujimoto: “A Study on High-Speed and High-Precision Tracking Control of Large-Scale Stage Using Perfect Tracking Control Method Based on Multirate Feedforward Control”, IEEE Trans. Industrial Electronics, Vol. 57, No. 4, pp. 1393-1400 (2010-4)
  • (4) 姿勢制御研究委員会:「人工衛星の力学と制御ハンドブック:基礎理論から応用技術まで」, 培風館 (2007)
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