光学的位置測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 鍛冶澤實 , 清田栄章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-262485
公開番号（公開出願番号）：特開2014-122901
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

【課題】少なくとも二つの空間的自由度中における対象の位置の計測のための光学的な位置測定装置を提供する。【解決手段】少なくとも、第一および第二の方向x、zに沿って可動に配置され、第一の延在方向e1に沿って周期的に配置された部分領域12.1を含む第一の基準12を有し、第二の延在方向e2に沿って周期的に配置された部分領域13.1を含む第二の基準13を有し、少なくとも第一および第二のリトロリフレクター素子が内部に統合されている走査プレートを有し、その際、第一のリトロリフレクター素子が第一の延在方向e1に平行に、および第二のリトロリフレクター素子が第二の延在方向e2に対して平行に延在し、第一および第二の基準12、13からこれらに入射する部分光束が、各基準12、13の方向の逆反射を受け、重ね合わされた部分光束から、第一および第二の移動方向x、zに沿った位置信号を発生可能である。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

複数の自由度内での対象(10;100;1000;1000 ́)の位置の計測の為の光学的位置測定装置であって、その際、対象(10;100;1000;1000 ́)が、少なくとも、第一の移動方向(x)に沿っておよび第二の移動方向(z)に沿って可動に配置されている装置であって、少なくとも一つの光源(24;150)を有し、対象(10;100;1000;1000 ́)に配置された第一の基準(12;112.1,112.2;1112.1,1112.2)であって、第一の延在方向(e1)に沿って延在し、および第一の延在方向(e1)に沿って周期的に配置された部分領域(12.1,12.2)を含む第一の基準(12;112.1,112.2;1112.1,1112.2)を有し、対象(10;100;1000;1000 ́)に配置された第二の基準(13;113; 1113)であって、第二の延在方向(e2)に沿って延在し、および第二の延在方向(e2)に沿って周期的に配置された部分領域(13.1,13.2)を含む第二の基準(13;113;1113)を有し、少なくとも第一および第二のリトロリフレクター素子(21;121;1121;1121 ́;22;122;1122;1122 ́)が内部に統合されている走査プレート(20;120;1120;1120 ́)を有し、その際、第一のリトロリフレクター素子(21;121;1121;1121 ́)が第一の延在方向(e1)に平行に、および第二のリトロリフレクター素子(22;122;1122;1122 ́)が第二の延在方向(e2)に対して平行に延在し、これらを介して、第一および第二の基準(12;112.1, 112.2;1112.1,1112.2;13;113;1113)からこれらに入射する部分光束が、各基準(12;112.1,112.2;1112.1,1112.2;13;113;1113)の方向の逆反射を受け、検出装置(160)を有し、この検出装置を介して、重ね合わされた部分光束から、少なくとも対象(10;100;1000;1000 ́)の第一および第二の移動方向(x、z)に沿った移動に関する位置信号を発生可能である前記装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 , G01D 5/347

FI (2件)：

G01D5/38 G , G01D5/347 110D

Fターム (12件)：

2F103BA37 , 2F103BA44 , 2F103CA01 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA12 , 2F103EB02 , 2F103EC03 , 2F103EC08 , 2F103EC10 , 2F103EC11

引用特許：

出願人引用 (8件)

位置測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-527731 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
光学式位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-178384 出願人：オークマ株式会社
位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-243505 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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審査官引用 (9件)

位置測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-527731 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
光学式位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-178384 出願人：オークマ株式会社
位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-243505 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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