位置測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 鍛冶澤實 , 清田栄章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-111132
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242389
出願日： 2012年05月15日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。【解決手段】検出ユニット20と信号ユニット30を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット20を測定標準10に対して少なくとも1つの測定方向xに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット30から検出ユニット20の方向へ照射し、少なくとも1対の部分ビームを検出ユニット20から信号ユニット30の方向へ照射し、検出ユニット20及び信号ユニット30を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット30と検出ユニット20の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

反射式の測定標準(10;110;210;310;410)と、少なくとも1つの再帰反射器(121;221;321;421)を有する検出ユニット(20;120;220;320;420)と、少なくとも1つの光源(131;231;331;431)と少なくとも1つの検出装置を有する信号ユニット(30;130;230;330;430)とを備えて成る位置測定装置であって、前記検出ユニット(20;120;220;320;420)と前記信号ユニット(30;130;230;330;430)を構造的に分離されたユニットとして形成し、前記検出ユニット(20;120;220;320;420)を前記測定標準(10;110;210;310;410)に対して少なくとも1つの測定方向(x)に沿って変位可能に配置し、前記光源(131;231;331;431)から照射される少なくとも1つのビームを自由ビームとして前記信号ユニット(30;130;230;330;430)から前記検出ユニット(20;120;220;320;420)の方向へ照射し、互いに干渉し合う少なくとも1対の部分ビームを前記検出ユニット(20;120;220;320;420)から前記信号ユニット(30;130;230;330;430)の方向へ自由ビームとして照射し、前記検出ユニット(20;120;220;320;420)及び前記信号ユニット(30;130;230;330;430)を互いに平行な平面内に配置し、前記信号ユニット(30;130;230;330;430)と前記検出ユニット(20;120;220;320;420)の間における前記自由ビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成したことを特徴とする位置測定装置。

IPC (3件)：

G01D 5/38 , G01D 5/347 , G01B 11/00

FI (3件)：

G01D5/38 A , G01D5/347 110U , G01B11/00 G

Fターム (39件)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA20 , 2F065BB15 , 2F065BB18 , 2F065CC17 , 2F065DD02 , 2F065FF48 , 2F065FF51 , 2F065GG06 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065HH08 , 2F065JJ05 , 2F065LL02 , 2F065LL12 , 2F065LL16 , 2F065LL32 , 2F065LL42 , 2F065LL43 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F103BA43 , 2F103CA01 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA01 , 2F103EA05 , 2F103EB02 , 2F103EB03 , 2F103EB16 , 2F103EC03 , 2F103EC08 , 2F103EC11 , 2F103EC13 , 2F103EC14 , 2F103GA16

引用特許：

出願人引用 (9件)

位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-176321 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
光学式位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-019213 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-243505 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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