特許
J-GLOBAL ID：201403002337064262

基板検査装置及び基板受け渡し方法

発明者：
岡平 裕幸

岡平 裕幸 について

, 
望月 才博

望月 才博 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (3件)： 伊藤 進 ,  長谷川 靖 ,  篠浦 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-073599
公開番号（公開出願番号）：特開2014-197651
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：
【課題】基板をしっかりと保持しながら基板の受け渡しができる基板検査装置及び基板受け渡し方法を提供する。【解決手段】 基板検査装置1は、ウエハWを吸着させるための複数の真空吸着パッド61を有する載置台4aと、裏面アーム10とを有する。裏面アーム10は、開口部42a2から真空吸引してウエハWを吸着させるし複数の真空吸着パッド71と、一対の噴射口41aから所定の気体を吹き出すことによりウエハWとの間に負圧を発生させてウエハWを吸着させる複数の吸着パッド72とを有する。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
基板を吸着させるための第1の吸引部を有する載置台と、 第1の開口部から真空吸引して前記基板を吸着させる第2の吸引部と、第2の開口部から所定の気体を吹き出すことにより前記基板との間に負圧を発生させて前記基板を吸着させる第3の吸引部とを有する検査用保持部材と、 を有することを特徴とする基板検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
H01L21/68 P ,  H01L21/68 A ,  H01L21/66 J
Fターム (27件)：
4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30 ,  5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA07 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB22 ,  5F131DB27 ,  5F131DB54 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EB02 ,  5F131FA34 ,  5F131FA35 ,  5F131KA22 ,  5F131KA45 ,  5F131KB03 ,  5F131KB04 ,  5F131KB32
引用特許：
審査官引用 (6件)
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