特許
J-GLOBAL ID：201403003734307135
ペリクルおよびこのペリクルを装着するフォトマスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼澤 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089101
公開番号（公開出願番号）：特開2014-211591
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
【課題】 本発明の目的は、装着後のフォトマスクに与える歪が小さく、しかもペリクルの脱着が容易で、かつ信頼性の高いペリクルおよびこのペリクルを装着するフォトマスクを提供することである。【解決手段】 本発明のペリクル40は、少なくとも4つの辺を有するペリクルフレーム10を用いて構成され、ペリクルフレーム10の少なくとも4箇所の角部には、フォトマスク70側となる端面からペリクル膜42が設けられる端面に向かって雌ネジ11が設けられており、また、このペリクル40のフォトマスク70側となる端面には、弾性体層43が設けられている。そして、この弾性体層43は、このペリクル40がフォトマスク70に締結手段101によって装着された場合に、フォトマスク70表面との接触幅が0.3〜1.0mmの範囲になるように潰れることで、ペリクル40とフォトマスク70との間の密封性を良くするものである。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
少なくとも4つの辺を有するペリクルフレームを用いて構成されたペリクルであって、前記ペリクルフレームの少なくとも4箇所の角部には、フォトマスク側となる端面からペリクル膜が設けられる端面に向かって雌ネジが設けられ、フォトマスク側となる前記端面には、弾性体層が設けられていることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/64
, H01L21/30 502P
2H095BB30
, 2H095BC38
, 2H095BC39
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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