特許
J-GLOBAL ID：201003030775498970

大型ペリクルの枠体及び該枠体の把持方法

発明者：
谷村 彰浩

谷村 彰浩 について

, 
前田 拓郎

前田 拓郎 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (9件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  森 徹 ,  白江 克則 ,  田中 正 ,  金井 建 ,  橋本 裕之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-024295
公開番号（公開出願番号）：特開2010-102357
出願日： 2010年02月05日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】枠体を確実に把持し、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器から簡単に取り出すことが可能なペリクルの枠体を提供すること、およびそのペリクルの枠体を使用した大型ペリクルを提供すること。【解決手段】本発明によれば、複数の辺からなる多角形形状を有する枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とからなり、前記枠体の最も長い辺の長さが1m以上である大型ペリクルの前記枠体を把持するにあたって、前記枠体はすべての辺部にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有する枠体であって、前記枠体の各辺部においてそれぞれ少なくとも1箇所以上の把持用の凸部または凹部を同時に把持することによって、枠体を確実に把持し、かつ、フォトマスク等に貼り付ける際には歪みやたわみを発生させることなく収納容器からペリクルを簡単に取り出すことを可能にする。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
複数の辺からなる多角形形状を有する枠体であって、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とを備えることができる、前記枠体の最も長い辺の長さが1m以上である大型ペリクルの前記枠体において、前記枠体は、すべての辺にそれぞれ把持用の凸部または凹部を有する大型ペリクルの枠体。
IPC (1件)：
G03F 1/14
FI (1件)：
G03F1/14 K
Fターム (3件)：
2H095BC36 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39
引用特許：
審査官引用 (12件)
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