特許
J-GLOBAL ID：201403004482685308
インゴット、炭化珪素基板およびインゴットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-060072
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185055
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】クラックの発生が抑制されたインゴット、当該インゴットを切断することにより得られる炭化珪素基板およびクラックの発生を抑制することが可能なインゴットの製造方法を提供する。【解決手段】 インゴット1は、炭化珪素からなる種基板11と、種基板11上に成長した炭化珪素層13とを備えている。炭化珪素層13は、成長方向において15mm以上の厚みを有している。炭化珪素層13では、成長方向に沿って存在し、隣接する2点間の距離が5mmである複数の測定点S1,S2,S3において格子定数を測定した場合に、格子定数の最大値と格子定数の最小値との差が0.004nm以下となる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
炭化珪素からなる種基板と、
前記種基板上に成長した炭化珪素層とを備え、
前記炭化珪素層は、成長方向において15mm以上の厚みを有し、
前記炭化珪素層では、前記成長方向に沿って存在し、隣接する2点間の距離が5mmである複数の測定点において格子定数を測定した場合に、前記格子定数の最大値と前記格子定数の最小値との差が0.004nm以下である、インゴット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
4G077AA02
, 4G077AB07
, 4G077AB09
, 4G077BE08
, 4G077DA02
, 4G077EA02
, 4G077ED06
, 4G077HA12
, 4G077SA04
, 4G077SA08
