特許
J-GLOBAL ID：201403006307438805
基板処理装置、基板処理装置の監視装置及び基板処理装置の監視方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033541
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165607
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】突発的または不規則に発生する一般的な異常の検出を容易かつ確実に行える基板処理装置、基板処理装置の監視装置及び基板処理装置の監視方法を提供する。【解決手段】基板処理装置の監視装置は、被処理基板を処理するプロセスの状態を監視する基板処理装置の監視装置であって、前記プロセスの処理の状態を撮像する撮像部と、記憶部と、前記撮像手段によって撮像された動画にタイムスタンプを付加して前記記憶部に記憶する記憶制御部と、前記記憶部に記憶された複数の動画を、正常なグループの動画と前記正常なグループ以外の動画にグループ分けするグループ分類部と、前記グループ分類部によってグループ分けされた前記正常なグループの動画を基に、異常な動画を検出するための閾値を生成する閾値生成部とを具備する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理基板を処理するプロセスの状態を監視する基板処理装置の監視装置であって、
前記プロセスの処理の状態を撮像する撮像部と、
記憶部と、
前記撮像手段によって撮像された動画にタイムスタンプを付加して前記記憶部に記憶する記憶制御部と、
前記記憶部に記憶された複数の動画を、正常なグループの動画と前記正常なグループ以外の動画にグループ分けするグループ分類部と、
前記グループ分類部によってグループ分けされた前記正常なグループの動画を基に、異常な動画を検出するための閾値を生成する閾値生成部と
を具備することを特徴とする基板処理装置の監視装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5C054FC11
, 5C054FE28
, 5C054HA02
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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