特許
J-GLOBAL ID:201403008805835202
表面の損傷を検出するために対象を検査するための方法と装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 久野 琢也
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-550822
公開番号(公開出願番号):特表2014-503826
出願日: 2012年01月16日
公開日(公表日): 2014年02月13日
要約:
本発明は、対象の欠陥のある表面を検出するために対象(1)を検査するための方法と装置に関する。2次元の画像データを用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域の位置が特定される。少なくとも一つの断面平面における測定された表面経過が存在し、この測定された表面経過が算出された表面経過と比較される。位置特定された表面領域の顕著な差異が存在する場合には、実際に欠陥のあるものとして評価される。特にタービン翼のコーティングをTBC減少について自動的に検査することができる。
請求項(抜粋):
対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象(1)を検査する方法において、
サンプリング装置(3)を用いて、前記対象(1)の検査すべき表面を測定し(S1)、前記対象の少なくとも一つずつの断面平面における2次元の画像データ及び測定された表面経過を形成するステップと、
計算装置(5)を用いて、欠陥が存在する可能性がある表面領域を位置特定するために前記2次元の画像データを評価するステップ(S2)と、
前記計算装置を用いて、前記断面平面の前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の外側の測定された表面経過に基づき、前記断面平面における前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の算出された表面経過を形成するステップ(S3)と、
前記計算装置を用いて、前記欠陥が存在する可能性がある表面領域の内側の前記算出された表面経過と前記測定された表面経過とを比較し(S4)、位置特定された表面領域の所定の差異指標が存在する場合には実際に欠陥のあるものとして評価するステップと、
を備えていることを特徴とする、対象の欠陥のある表面領域を検出するために前記対象(1)を検査する方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (13件):
2G051AA88
, 2G051AB05
, 2G051AB07
, 2G051CA03
, 2G051DA05
, 2G051DA08
, 2G051DA15
, 2G051EA02
, 2G051EA08
, 2G051EA17
, 2G051EA24
, 2G051ED21
, 2G051FA00
引用特許:
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