特許
J-GLOBAL ID:200903087133870699

外観検査方法および外観検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 板谷 康夫 ,  田口 勝美 ,  水田 愼一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-141075
公開番号(公開出願番号):特開2008-292430
出願日: 2007年05月28日
公開日(公表日): 2008年12月04日
要約:
【課題】外観検査方法および外観検査装置において、簡単な構成により、比較用データの入力作業を不要とし、計算処理量の削減、処理時間短縮、高速処理、複雑な外観形状への対応、および高精度の外観検査を実現可能とする。【解決手段】外観検査装置1は、2次元画像Gを撮像するカメラ3と、3次元データ計測用のプロジェクタ4と、計算処理部20とを備え、欠陥候補部検出手段11は、2次元画像Gから欠陥候補部を抽出し、第1の3次元データ生成手段12は、被検査物体10の3次元形状データである3次元データP1を生成し、第2の3次元データ生成手段13は、3次元データP1から欠陥候補部を除く領域の3次元データP2を生成し、第3の3次元データ生成手段14は、3次元データP2における欠陥候補部の値を補間した3次元データP3を生成し、欠陥判定手段15は、3次元データP1,P3の差分値δZに基づいて欠陥候補部における欠陥を判定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被検査物体の外観における欠陥の有無を検査する外観検査方法であって、 被検査物体を撮像して2次元画像を生成するステップと、 前記2次元画像において所定の輝度値と異なる領域を欠陥候補部として検出するステップと、 前記2次元画像を撮像した視点と同じ視点から見た前記被検査物体の3次元形状データであって前記2次元画像の各画素に対応するデータから成る第1の3次元データを取得するステップと、 前記2次元画像において前記欠陥候補部とその周辺を通る計測ラインを設定するステップと、 前記第1の3次元データから、前記欠陥候補部を除いた領域における前記計測ラインに対応するデータを抽出して第2の3次元データを生成するステップと、 前記第2の3次元データにおける前記欠陥候補部に対応する領域の3次元データを補間した3次元データから成る第3の3次元データを求めるステップと、 前記第1の3次元データと前記第3の3次元データとの差分値を前記計測ラインに対応するデータについて求め、前記差分値の大小に基づいて前記欠陥候補部における欠陥の有無を判定するステップと、を含むことを特徴とする外観検査方法。
IPC (3件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00
FI (3件):
G01N21/88 J ,  G01B11/30 A ,  G06T1/00 300
Fターム (35件):
2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CF05 ,  5B057CH08 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
引用特許:
出願人引用 (10件)
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