特許
J-GLOBAL ID：201403014244935946
試料の自動配向
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
雨貝 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-228871
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098695
出願日： 2013年11月04日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：
【課題】集束イオン・ビームに対して垂直に試料が配向されるように真空室内に置かれた試料を位置合わせする方法を提供すること。【解決手段】焦点合わせルーチンを使用して、試料表面の異なるスポットの位置を決定する。それらの異なるスポットの位置を使用して、必要な適正な較正を決定する想像線または想像平面を生成する。次いで、その想像線または想像平面を使用して、集束イオン・ビームに対して実質的に垂直に試料が位置合わせされるように、試料ステージを較正する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム・システム内の試料を位置合わせする方法であって、
荷電粒子ビームを有する真空室内に試料を装填するステップと、
前記試料を荷電粒子ビームの下に置くステップと、
前記試料の表面の少なくとも2つの異なるスポットに前記荷電粒子ビームを導くステップと、
前記少なくとも2つの異なるスポットに焦点を合わせるステップと、
前記試料に対して実質的にユーセントリックな定点からそれぞれのスポットまでの距離を決定するステップと、
前記集束イオン・ビームに対して前記試料が位置合わせされるように、それぞれのスポットからの距離を使用して前記試料を配向するステップと
を含む方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA11
, 2G001CA03
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001LA11
, 5C033MM03
, 5C033MM07
