特許
J-GLOBAL ID：201403017433560774

計測顕微鏡装置及び計測顕微鏡装置操作プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者：
高橋 晋也

高橋 晋也 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199075
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055776
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】複数の測定光投光手段で測定画像を取得する際、測定が不良となる部分を少なくするように予め測定画像の取得条件の設定を行い易くする。【解決手段】第一測定光投光手段又は第二測定光投光手段で投光され、対象物Sで反射された測定光を取得して測定画像を撮像するための撮像手段100と、測定光投光手段110を用いて撮像された画像を表示させるための表示手段400と、同じ対象物Sに対して、第一測定光投光手段を用いて撮像手段100で取得された第一測定画像と、第二測定光投光手段を用いて撮像手段100で取得された第二測定画像とを合成し、一の合成測定画像を生成する測定画像合成手段211と、表示手段400上で画像を表示させた状態で、第一測定光投光手段及び第二測定光投光手段のいずれでも測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示するハイライト手段212とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象物に対して斜め方向から測定光を所定のパターンの構造化照明として投光するための測定光投光手段として、 第一の方向から対象物に対して第一測定光を照射可能な第一測定光投光手段と、 前記第一の方向とは異なる第二の方向から対象物に対して第二測定光を照射可能な第二測定光投光手段と、 観察画像を撮像するための観察用照明光源と、 前記第一測定光投光手段又は第二測定光投光手段で投光され、対象物で反射された測定光を取得して測定画像を撮像し、また前記観察用照明光源を用いて観察画像を撮像するための撮像手段と、 前記測定画像又は観察画像を表示させるための表示手段と、 前記測定画像又は観察画像を前記表示手段上で表示させた状態で、前記第一測定光投光手段及び第二測定光投光手段のいずれでも測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示するハイライト手段と を備えることを特徴とする計測顕微鏡装置。
IPC (3件)：
G01B 11/25 ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/06
FI (3件)：
G01B11/25 H ,  G01B9/04 ,  G02B21/06
Fターム (50件)：
2F064MM05 ,  2F064MM16 ,  2F064MM24 ,  2F064MM36 ,  2F064MM41 ,  2F064MM45 ,  2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065DD03 ,  2F065DD05 ,  2F065DD09 ,  2F065DD11 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL01 ,  2F065LL53 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065NN12 ,  2F065NN17 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2H052AC04 ,  2H052AC09 ,  2H052AC14 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許：
審査官引用 (7件)
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