特許
J-GLOBAL ID：201003025221491040
形状測定装置および形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-116282
公開番号（公開出願番号）：特開2010-271316
出願日： 2010年05月20日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：
【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象基板を支持するワークステージと、
光源、格子イメージを生成するために前記光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部、および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、
前記測定対象基板の測定対象物で反射される前記格子イメージを撮像する撮像部と、
前記ワークステージ、前記パターン投影部および前記撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と前記測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して前記測定対象物を検査する制御部と、を含むことを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
2F065AA03
, 2F065AA51
, 2F065CC25
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065HH14
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL41
, 2F065PP11
, 2F065QQ06
, 2F065QQ14
, 2F065QQ17
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065TT03
