表面分析用フィルム試料およびフィルム試料サンプリング治具とサンプリング方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：伴俊光 , 細田浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-079301
公開番号（公開出願番号）：特開2014-202620
出願日： 2013年04月05日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：

【課題】表面分析を適切に行うことが可能な高い平坦性を有する表面分析用フィルム試料およびフィルム試料サンプリング治具とサンプリング方法を提供する。【解決手段】表面分析試料のエッジ部の表面が、分析表面と同一高さの位置または分析表面よりも低い位置にあって、前記エッジ部における形状の分析試料の厚み方向における最大振幅が500nm以下であることを特徴とする表面分析用フィルム試料、およびフィルム試料サンプリング治具とサンプリング方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

表面分析試料のエッジ部の表面が、分析表面と同一高さの位置または分析表面よりも低い位置にあって、前記エッジ部における形状の分析試料の厚み方向における最大振幅が500nm以下であることを特徴とする表面分析用フィルム試料。

IPC (4件)：

G01N 23/201 , G01N 23/223 , G01N 23/20 , G01N 1/28

FI (4件)：

G01N23/201 , G01N23/223 , G01N23/20 , G01N1/28 G

Fターム (11件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001BA14 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G052AA18 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052EC04 , 2G052EC23 , 2G052GA19

引用特許：

審査官引用 (5件)

フィルム状ガラスの製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-164137 出願人：日本電気硝子株式会社
分析用の薄膜試料切断器およびそれを用いた蛍光X線分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-217819 出願人：理学電機工業株式会社
フィルム基板の切断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-330148 出願人：株式会社多加良製作所

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