特許
J-GLOBAL ID:201403049104280212
レーザ走査顕微鏡の走査フィールドを変化させる方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
恩田 誠
, 恩田 博宣
, 本田 淳
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-532272
公開番号(公開出願番号):特表2014-530381
出願日: 2012年09月26日
公開日(公表日): 2014年11月17日
要約:
X列およびY行を用いて走査される、多焦点レーザ走査顕微鏡の走査フィールドのサイズを変化させる方法が提供される。走査フィールド内にはn個のレーザ・スポットが、それぞれ互いの間隔dを空けて、試料平面上に低速の走査軸に沿って配置されており、試料平面上の走査される行の間隔が、K∈Nとして、a=d/Kであり、Kを変化させることによって走査フィールドのサイズを変化させ、K行の走査後に、少なくともY行の走査が完了するまで、例えば走査方向に(n-1)×K+1行分、または走査方向とは逆方向に(n+1)×K-1行分の飛び越しにより、縦方向の飛び越しを行う。
請求項(抜粋):
X列およびY行を用いて走査される、多焦点レーザ走査顕微鏡の走査フィールドのサイズを変化させる方法であって、
該走査フィールド内にn個のレーザ・スポットが、それぞれ互いの間隔dを空けて、試料平面上に低速の走査軸に沿って配置され、
該試料平面上の走査される行の間隔が、K∈Nとして、a=d/Kであり、
Kを変化させることによって該走査フィールドのサイズを変化させ、K行の走査後に、少なくともY行の走査が完了するまで、例えば走査方向に(n-1)×K+1行分、または走査方向とは逆方向に(n+1)×K-1行分の飛び越しにより、縦方向の飛び越しを行う、方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AC28
, 2H052AC34
引用特許:
審査官引用 (6件)
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マルチビーム方式走査型顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-353236
出願人:株式会社ニコン
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光走査型顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-018366
出願人:株式会社ニコン
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走査型顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-123946
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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