特許
J-GLOBAL ID：201403061105272736

回折格子の製造方法

発明者：
助川 隆

助川 隆 について

, 
杉山 成

杉山 成 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-138392
公開番号（公開出願番号）：特開2014-002295
出願日： 2012年06月20日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】 GaPまたはGaAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子の格子溝を精度良く機械加工すること【解決手段】 GaPまたはGaAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子10の製造方法は、機械加工によって被加工物Wの被加工面に複数の格子溝17を形成してブレーズ型回折格子を形成する際(S150)、各格子を構成する面のうち前記入射光を最も多く受光する面が結晶材料の結晶方位である(110)面となるように格子溝を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
GaPまたはGaAsの結晶材料からなるブレーズ型回折格子の製造方法であって、 機械加工よって被加工物の被加工面に複数の格子溝を形成して前記ブレーズ型回折格子を形成する形成ステップを有し、 前記形成ステップにおいて、各格子を構成する面のうち入射光を最も多く受光する面が前記結晶材料の結晶方位である(110)面となるように前記格子溝を形成することを特徴とする製造方法。
IPC (1件)：
G02B 5/18
FI (1件)：
G02B5/18
Fターム (6件)：
2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA23 ,  2H249AA32 ,  2H249AA55 ,  2H249AA63
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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