特許
J-GLOBAL ID:201403063878630103
光電変換サブマウント基板
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 麻野 義夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-014936
公開番号(公開出願番号):特開2014-145946
出願日: 2013年01月30日
公開日(公表日): 2014年08月14日
要約:
【課題】アンダーフィルの余剰分が配線パッドを覆うことを未然に防止できるようにした光電変換サブマウント基板を提供する。【解決手段】基板1と、コア層2及びクラッド層3からなる光導波路4と、光導波路4と光学的に結合する光素子5と、光素子5と光導波路4との間の隙間に充填されたアンダーフィル6と、基板1に形成された配線パッド10とを備える。基板1の表面に、光素子5と光導波路4の間の隙間から流れ出したアンダーフィル6の余剰分が配線パッド10に到達するのを防止する流出防止部22が形成されている。この流出防止部22は、基板1の表面に形成された凸部23と凹部24との組み合わせである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、前記基板の表面に形成されたコア層、及び前記コア層を被覆して形成されたクラッド層からなる光導波路と、前記光導波路と光学的に結合する光素子と、前記光素子と前記光導波路との間の隙間に充填されたアンダーフィルと、前記基板の表面に形成された配線パッドとを備え、
前記光素子と前記配線パッドとの間の前記基板の表面に、前記光素子と前記光導波路の間の隙間から流れ出したアンダーフィルの余剰分が前記配線パッドに到達するのを防止する流出防止部が形成され、
前記流出防止部は、前記基板の表面に形成された凸部と凹部との組み合わせであることを特徴とする光電変換サブマウント基板。
IPC (4件):
G02B 6/122
, G02B 6/42
, H01L 31/023
, H01L 33/62
FI (4件):
G02B6/12 B
, G02B6/42
, H01L31/02 C
, H01L33/00 440
Fターム (40件):
2H137AB12
, 2H137AC04
, 2H137BA55
, 2H137BB02
, 2H137BB12
, 2H137CA34
, 2H137CA73
, 2H137EA04
, 2H147AB04
, 2H147AB05
, 2H147EA13C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA17A
, 2H147EA17B
, 2H147EA19A
, 2H147EA19B
, 2H147EA20A
, 2H147EA20B
, 2H147FC02
, 2H147FC03
, 5F088BA16
, 5F088BB01
, 5F088JA03
, 5F088JA06
, 5F088JA09
, 5F088JA14
, 5F142AA86
, 5F142BA32
, 5F142CA11
, 5F142CA13
, 5F142CA16
, 5F142CD02
, 5F142CD15
, 5F142CD32
, 5F142CE02
, 5F142CE32
, 5F142DB18
, 5F142FA34
, 5F142GA08
引用特許:
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