力学量センサ及び力学量センサシステム

発明者： , , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-109119
公開番号（公開出願番号）：特開2014-115267
出願日： 2013年05月23日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：

【課題】精度よく力学量を検出することが可能な力学量センサ及び力学量センサシステムを提供する。【解決手段】力センサ100は、Z方向及びX方向の力を受ける受力部40と、受力部40が受けるZ方向の力に応じて、第1回転方向へ回動し、受力部40が受けるX方向の力学量に応じて、第1回転方向へ回動するシーソー部30Aと、受力部40が受けるZ方向の力学量に応じて、第2回転方向へ回動し、受力部40が受けるXの力学量に応じて、第2回転方向とは反対方向へ回動するシーソー部30Cと、を備えるものである。【選択図】図1D

請求項（抜粋）：

受力部と、前記受力部が受ける第1方向の力学量に応じて、第1回転軸まわりに第1回転方向へ回動し、前記受力部が受ける前記第1方向とは異なる第2方向の力学量に応じて、前記第1回転軸まわりに前記第1回転方向へ回動する第1可動部と、前記受力部が受ける前記第1方向の力学量に応じて、第2回転軸まわりに第2回転方向へ回動し、前記受力部が受ける前記第2方向の力学量に応じて、前記第2回転軸まわりに前記第2回転方向とは反対方向へ回動する第2可動部と、を備え、少なくとも前記第1方向の力学量及び前記第2方向の力学量を検出可能な力学量センサ。

IPC (4件)：

G01L 5/16 , G01P 15/18 , G01P 15/125 , G01L 1/14

FI (4件)：

G01L5/16 , G01P15/00 K , G01P15/125 Z , G01L1/14 J

Fターム (3件)：

2F051AA10 , 2F051AB06 , 2F051DA03

引用特許：

出願人引用 (7件)

センサ装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053110 出願人：株式会社国際電気通信基礎技術研究所, 国立大学法人大阪大学
静電容量式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-269508 出願人：パナソニック株式会社
多軸力覚センサおよび加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-029110 出願人：本田技研工業株式会社

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審査官引用 (7件)

センサ装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053110 出願人：株式会社国際電気通信基礎技術研究所, 国立大学法人大阪大学
静電容量式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-269508 出願人：パナソニック株式会社
多軸力覚センサおよび加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-029110 出願人：本田技研工業株式会社

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