特許
J-GLOBAL ID：200903038958523702
静電容量型センサ、および、その製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-267961
公開番号（公開出願番号）：特開2009-097918
出願日： 2007年10月15日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】センサ構造を大幅に小型化すること。接続配線数を極力減らしてノイズがのりにくい構造とし、所望の信号を正確に測定すること。【解決手段】第1導電層と、第2導電層と、絶縁層とを有する第1の部材と、第1電極を有する第2の部材と、第2電極を有する第3の部材とを具え、第1の部材は、錘部と、該錘部を可動自在に支持する梁部と、該梁部に連接されかつ第2の部材と第3の部材との間に設けられた枠部とを有し、錘部と枠部とを電気的に絶縁した状態で構成し、枠部は、第2の部材の第1電極の接続用配線として用いられると共に第3の部材に電気的に接続され、錘部は、枠部に対して電気的に絶縁された状態で梁部を介して第3の部材に電気的に接続される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
静電容量を検出するセンサであって、
第1導電層と、第2導電層と、該第1導電層と該第2導電層との間に形成された絶縁層とを有する第1の部材と、
前記第1の部材の前記第1導電層側の面に設けられ、静電容量を検出するための第1電極を有する第2の部材と、
前記第1の部材の前記第2導電層側の面に設けられ、静電容量を検出するための第2電極を有する第3の部材と
を具え、
前記第1の部材は、前記第1電極と前記第2電極との間に配置された錘部と、該錘部を可動自在に支持する梁部と、該梁部に連接されかつ前記第2の部材と前記第3の部材との間に設けられた枠部とを有し、
前記枠部は、前記第2の部材の前記第1電極の接続用配線として用いられ、かつ、前記第3の部材に電気的に接続され、
前記錘部は、前記枠部に対して電気的に絶縁された状態で、前記梁部を介して前記第3の部材に電気的に接続されたことを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01L 1/14
, G01P 9/04
G01C19/56
, G01L1/14 K
, G01P9/04
2F105BB03
, 2F105BB13
, 2F105BB14
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (9件)
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