剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-006976
公開番号（公開出願番号）：特開2013-149657
特許番号：特許第5635019号
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1基板を吸着保持する第1保持部と、前記第1基板に対して接合された第2基板の一部を吸着保持する吸着部が一端部側に設けられた第2保持部と、前記第1保持部によって前記第1基板が吸着保持された状態で、前記第2保持部の他端部側を支点として前記一端部側を前記第1保持部から離す方向へ移動させる移動機構とを備え、前記吸着部は、前記第2基板の外周側に向けて漸次幅広となる吸着領域を有することを特徴とする剥離装置。

IPC (2件)：