特許
J-GLOBAL ID：201103097763620414

振動型角速度センサ

発明者：
城森 知也

城森 知也 について

, 
酒井 峰一

酒井 峰一 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-204751
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053185
出願日： 2009年09月04日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】駆動錘と検出錘とを有する振動子を2つ備えた振動型角速度センサにおいて、外部衝撃に対する各駆動錘の同調性および各検出錘の同調性を高める。【解決手段】駆動錘150、250は、当該駆動錘150、250がそれぞれ対向する部分に開口部152、252をそれぞれ備えている。また、検出錘140、240は、駆動錘150、250の内側にそれぞれ配置されている。そして、駆動連成梁400は、第1振動子100の駆動錘150と第2振動子200の駆動錘250とを直接連結している。一方、検出連成梁500は、駆動錘150、250の開口部152、252を介して第1振動子100の検出錘140と第2振動子200の検出錘240とを直接連結している。これにより、外部からの衝撃に対する各駆動錘150、250の同調性および各検出錘140、240の同調性の両方を高めることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板(10)の一面側に形成され、この基板(10)の一部に支持された検出固定電極(130、131、230、231)と、前記検出固定電極(130、131、230、231)に対向配置されると共に前記検出固定電極(130、131、230、231)に対して変位可能とされた検出可動電極(141、241)を備えた検出錘(140、240)と、を有する検出部(110、210)と、 前記基板(10)の一面側に形成され、前記検出可動電極(141、241)の移動方向に対して直角の駆動方向に前記検出部(110、210)を振動させる駆動可動電極(151、251)を備えた駆動錘(150、250)と、前記駆動可動電極(151、251)に対向配置された駆動固定電極(160、260)と、を有する駆動部(120、220)と、 をそれぞれ備えた第1振動子(100)および第2振動子(200)を含んでおり、 前記検出部(110、210)の駆動振動中に角速度が発生したとき、前記検出部(110、210)に対して作用するコリオリ力で変位する前記検出可動電極(141、241)と前記検出固定電極(130、131、230、231)との間隔の変化に伴う容量変化に基づいて前記角速度を検出するようにした振動型角速度センサであって、 前記第1振動子(100)の前記駆動錘(150)と前記第2振動子(200)の前記駆動錘(250)とが駆動連成梁(400)により直接連結され、かつ、前記第1振動子(100)の前記検出錘(140)と前記第2振動子(200)の前記検出錘(240)とが検出連成梁(500)により直接連結されていることを特徴とする振動型角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z
Fターム (21件)：
2F105AA02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB07 ,  2F105CC01 ,  2F105CD03 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA36 ,  4M112DA02 ,  4M112DA16 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (12件)
  • 回転速度センサー
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-513680   出願人：ノースロップグルマンリテフゲーエムベーハー
  • 回転レートセンサー
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566607   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 回転レートセンサー
    公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566606   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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