特許
J-GLOBAL ID：201403072384548888
カーボンナノチューブの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-112435
公開番号（公開出願番号）：特開2014-231446
出願日： 2013年05月29日
公開日（公表日）： 2014年12月11日
要約：
【課題】十分な厚みのアモルファス層を有して、凝集を抑制することができるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】熱CVD法によるカーボンナノチューブの製造方法であって、第一温度(640°C以上)で定温の基板Kに原料ガス(C2H2)を供給することで、当該基板Kにカーボンナノチューブを所定の長さまで成長させる第一工程と、上記第一温度よりも50〜200°C高い第二温度(780〜840°C)で定温の上記基板Kに原料ガス(C2H2)を3〜10kPaにて供給することで、所定の長さまで成長させたカーボンナノチューブにアモルファス層を成長させる第二工程とを有する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
熱CVD法によるカーボンナノチューブの製造方法であって、
第一温度の基板に原料ガスを供給することで、この基板にカーボンナノチューブを所定の長さまで成長させる第一工程と、
上記第一温度よりも高温である第二温度の上記基板に原料ガスを供給することで、所定の長さまで成長させたカーボンナノチューブにアモルファス層を成長させる第二工程とを有することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (32件)：
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AC02B
, 4G146AC22B
, 4G146AD02
, 4G146AD16
, 4G146AD22
, 4G146AD23
, 4G146AD24
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC07
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC38A
, 4G146BC38B
, 4G146BC44
, 4G146CB14
, 4G146DA03
, 4G146DA26
, 4G146DA29
, 4G146DA43
, 4G146DA48
, 5H018AA06
, 5H018DD05
, 5H018EE05
, 5H018HH08
, 5H018HH09
, 5H026AA06
