特許
J-GLOBAL ID:201403081048754134
固体電解質薄膜の作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
沖中 仁
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-148415
公開番号(公開出願番号):特開2012-014885
特許番号:特許第5431257号
出願日: 2010年06月30日
公開日(公表日): 2012年01月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】直径が0.15〜0.25mmに設定されたノズルを備えたチャンバの内部に基板を配置する準備工程と、
前記チャンバの内部圧力を20〜80Paに調整しながら減圧する減圧工程と、
前記ノズルから前記基板の表面にLi4SiO4-Li3PO4を含むエアロゾルを吹き付ける吹付工程と、
前記ノズルに対して前記基板を、相対移動速度を0.5〜1.0mm/秒に調整しながら相対移動させ、当該基板の表面全体に前記Li4SiO4-Li3PO4の薄膜を形成する膜形成工程と、
を包含する固体電解質薄膜の作製方法。
IPC (5件):
H01M 10/0562 ( 201 0.01)
, C01B 33/32 ( 200 6.01)
, H01B 13/00 ( 200 6.01)
, H01B 1/06 ( 200 6.01)
, C01B 25/30 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01M 10/056
, C01B 33/32
, H01B 13/00 Z
, H01B 1/06 A
, C01B 25/30
引用特許:
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