特許
J-GLOBAL ID：201403084482522968
研磨パッドの寿命検知方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-242367
公開番号（公開出願番号）：特開2014-091190
出願日： 2012年11月02日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
【課題】研磨パッドの寿命の検知を、研磨パッドに異物を埋設することなく簡易かつ確実に行う。【解決手段】再生用の補助板2上に接合された研磨パッド1の研磨面1aの巨視的なうねり形状を測定し、当該うねり形状における最低点と最高点の差が所定値以上になったことで研磨パッド1の寿命到来を検知する。うねり形状を、研磨パッド1を回転させつつ、その表面上を通る線状走査レーザ光Lを発するレーザ変位計5で測定する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
再生用の補助板上に接合された研磨パッドの研磨面の巨視的なうねり形状を測定し、当該うねり形状に基づいて研磨パッドの寿命到来を検知することを特徴とする研磨パッドの寿命検知方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C058AA07
, 3C058AA15
, 3C058BA07
, 3C058DA17
