特許
J-GLOBAL ID：201403087446070600

上に別個の突起を有する均一な本体を有する研磨パッド

発明者：
バジャッジ, ラジーブ

バジャッジ, ラジーブ について

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ホワン, ピン

ホワン, ピン について

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ケルプリッチ, ロバート

ケルプリッチ, ロバート について

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アリソン, ウィリアム シー.

アリソン, ウィリアム シー. について

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フレンツェル, リチャード

フレンツェル, リチャード について

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スコット, ダイアン

スコット, ダイアン について


出願人/特許権者：
ネクスプラナー コーポレイション

ネクスプラナー コーポレイション について


代理人 (5件)： 山本 秀策 ,  森下 夏樹 ,  飯田 貴敏 ,  石川 大輔 ,  山本 健策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-511502
公開番号（公開出願番号）：特表2014-515319
出願日： 2012年05月16日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：
上に別個の突起を有する均一な本体を有する研磨パッドが、説明される。実施例において、基板を研磨する研磨パッドは、研磨面と背面とを有する均一な本体を含む。均一な本体は、第一の硬度を有する材料から成る。複数の別個の突起は、均一な本体の研磨面に配置され、かつ均一な本体の研磨面と共有結合させられる。複数の別個の突起は、第一の硬度とは異なる第二の硬度を有する材料から成る。上に別個の突起を有する均一な本体を有する研磨パッドを製作する方法も、説明される。
請求項（抜粋）：
基板を研磨する研磨パッドであって、該研磨パッドは、 研磨面と背面とを有する均一な本体であって、該均一な本体は、第一の硬度を有する材料を含む、均一な本体と、 該均一な本体の該研磨面に配置され、かつ該均一な本体の該研磨面と共有結合させられた複数の別個の突起であって、該複数の別個の突起は、該第一の硬度とは異なる第二の硬度を有する材料を含む、複数の別個の突起と を含む、研磨パッド。
IPC (7件)：
B24B 37/24 ,  B24B 37/22 ,  B24B 37/013 ,  B24B 37/11 ,  B24D 3/00 ,  B24D 11/00 ,  H01L 21/304
FI (9件)：
B24B37/00 S ,  B24B37/00 W ,  B24B37/00 P ,  B24B37/00 L ,  B24B37/04 K ,  B24B37/00 C ,  B24D3/00 340 ,  B24D11/00 F ,  H01L21/304 622F
Fターム (23件)：
3C058AA07 ,  3C058CA01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063AB07 ,  3C063BA02 ,  3C063BA24 ,  3C063BG01 ,  3C063BG07 ,  3C063CC17 ,  3C063EE10 ,  5F057AA24 ,  5F057BA12 ,  5F057BC10 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB06 ,  5F057EB08 ,  5F057EB13 ,  5F057EB30
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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