特許
J-GLOBAL ID：200903053817038702

研磨パッド

発明者：
田中 佑典

田中 佑典 について


出願人/特許権者：
ニッタ・ハース株式会社

ニッタ・ハース株式会社 について


代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-060911
公開番号（公開出願番号）：特開2006-239833
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 研磨特性を劣化させることなく加工終点の検出が可能な研磨パッドを提供する。【解決手段】 加工終点を検出するための貫通孔3を、研磨面方向の断面形状が楕円形状であり、長軸方向が研磨パッド1の半径方向と平行となるように設け、この貫通孔3の周辺部分に溝加工を施さない無加工部分4を設ける。貫通孔3のサイズとして、長径aは4mm〜8mmが望ましく、短径bは3mm〜5mmが望ましい。また、無加工部分4のサイズとして、直径dは15mm〜60mmが望ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被研磨物を研磨する研磨面側に開放された凹部が、前記研磨面にわたって分布するように設けられる研磨パッドにおいて、 研磨パッドの厚み方向に貫通する貫通孔の周辺部分であって、前記凹部が設けられていない無加工部分を有することを特徴とする研磨パッド。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B37/00 C ,  B24B37/04 K ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 622S
Fターム (5件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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