特許
J-GLOBAL ID：201403093943115323
剥離補助方法および剥離補助装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-257123
公開番号（公開出願番号）：特開2014-107314
出願日： 2012年11月26日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：
【課題】被剥離層にダメージを与えることなく、均一かつ清浄に被剥離層の剥離を補助することができる剥離補助方法および剥離補助装置を提供する。【解決手段】フラッシュ光を透過するガラス基板81に貼り付けられたポリイミド膜82にデバイス83が形成されている。ガラス基板81とポリイミド膜82との界面にガラス基板81を透過して波長400nmよりも短い紫外域のフラッシュ光を照射し、その界面の化学結合を切断してガラス基板81とポリイミド膜82との密着性を弱めている。このため、続く剥離工程では、被剥離層たるポリイミド膜82を小さな応力にて容易にガラス基板81から剥離することができる。従って、ポリイミド膜82およびそれに形成されたデバイス83に物理的なダメージを与えることなく、均一かつ清浄にポリイミド膜82の剥離を補助することができる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
フラッシュ光を透過する基板上に貼り付けられた被剥離層の剥離を補助する剥離補助方法であって、
所定の波長よりも短い波長域のフラッシュ光を前記基板と前記被剥離層との界面に前記基板を透過して照射することを特徴とする剥離補助方法。
IPC (2件)：
FI (1件)：
引用特許：
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