特許
J-GLOBAL ID：201403098463152344
加工装置のチャックテーブル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-010798
公開番号（公開出願番号）：特開2014-143295
出願日： 2013年01月24日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：
【課題】 粘着テープの粘着層を下側にしてウエーハの表面側(デバイス面)をチャックテーブルの保持面上に載置しても、加工後の搬送エラー等を引き起こす恐れのない加工装置のチャックテーブルを提供することである。【解決手段】 板状の被加工物を吸引保持する加工装置のチャックテーブルであって、被加工物を保持面で保持する被加工物保持部と、該被加工物保持部を支持する基台と、該被加工物保持部と吸引源とを連通する該基台に形成された吸引路と、を備え、該被加工物保持部は、外周が樹脂によってシールされた弾性を有する板状の多孔質樹脂によって形成され、該被加工物保持部と該基台とは同等の直径を有することを特徴とする。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
板状の被加工物を吸引保持する加工装置のチャックテーブルであって、
被加工物を保持面で保持する被加工物保持部と、
該被加工物保持部を支持する基台と、
該被加工物保持部と吸引源とを連通する該基台に形成された吸引路と、を備え、
該被加工物保持部は、外周が樹脂によってシールされた弾性を有する板状の多孔質樹脂によって形成され、
該被加工物保持部と該基台とは同等の直径を有することを特徴とする加工装置のチャックテーブル。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/78 N
, H01L21/78 B
, B23K26/10
4E068CE09
, 4E068DA10
, 4E068DB10
