抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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近年,Siに加えてSiCやGaNなどの化合物半導体の実用化が進み,これらの用いたパワーデバイスの開発が進んでいるが,特にIGBTの成長が著しい。IGBTは通常誘導負荷で使用されるためFWDを逆並列にして用いられるが,このFWDとIGBTを同一チップに形成して小型化を図っているのが,RC-IGBTである。裏面に存在するp
+コレクター層の端部を,深いp型拡散層やチップ側壁のp型拡散層により,表面側のエッジ構造に接続し,さらにエッジ(耐圧)構造のデザインを最適化することで,逆阻止性能を得ることができる。600Vクラスの素子ではオン電圧を約0.7Vと大幅に低減でき,このRC-IGBTを逆並列に組み合わせることで,低損失ACスイッチが構成され回路応用の幅が広がる。あたらな3レベル回路やマトリックスコンバータなど高効率変換回路への適用が始まっている。同時にチップ性能を最大限発揮するための実装技術も重要であり,両者の継続的な改善により電力変換システムの更なる効率化が進むと期待される。