樹脂及びレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中山亨 , 坂元徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-001814
公開番号（公開出願番号）：特開2015-147926
出願日： 2015年01月07日
公開日（公表日）： 2015年08月20日
要約：

【課題】良好な形状のレジストパターンを製造しうるレジスト組成物用樹脂を提供する。【解決手段】(A1)式(a2-2)で表される構造単位及び式(a4)で表される構造単位を含有し、かつ、酸不安定基を有さない樹脂。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A1)式(a2-2)で表される構造単位及び式(a4)で表される構造単位を含有し、かつ、酸不安定基を有さない樹脂。

IPC (5件)：

C08F 220/30 , G03F 7/038 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C08F 220/22

FI (5件)：

C08F220/30 , G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R , C08F220/22

Fターム (54件)：

2H125AE04P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF38P , 2H125AF55P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH13 , 2H125AH17 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ02Y , 2H125AJ04X , 2H125AJ14X , 2H125AJ45X , 2H125AJ48X , 2H125AJ48Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AM22P , 2H125AM27P , 2H125AM68P , 2H125AM93P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN54P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB08 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CC17 , 2H125FA05 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA03P , 4J100BA10Q , 4J100BA15Q , 4J100BA20Q , 4J100BB07Q , 4J100BB12Q , 4J100BB17Q , 4J100BB18Q , 4J100BC04Q , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC43P , 4J100CA05 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (6件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-356275 出願人：コニカ株式会社, 三菱化成株式会社
レジスト保護膜材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-219950 出願人：信越化学工業株式会社
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-024160 出願人：住友化学株式会社

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