光学式エンコーダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-266515
公開番号（公開出願番号）：特開2015-121508
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
要約：

【課題】格子ピッチPに対して正確にP/2周期の検出信号を得られる光学式エンコーダを提供すること。【解決手段】本発明の光学式エンコーダ100は、光を発する光源110と、所定のピッチで形成されたスケール格子141、142を有するスケール140と、光源110とスケール140との間に配置され、所定のピッチで形成された格子を有する光源格子120と、光源格子120およびスケール140により生成された干渉縞を検出する干渉縞検出手段150と、を備える。スケール格子141、142は並列して配置されており、かつ、隣り合うスケール格子同士は互いに1/2周期ずれた関係にある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を発する光源と、所定のピッチで形成された2以上のスケール格子を有するスケールと、前記光源と前記スケールとの間に配置され、所定のピッチで形成された格子を有する光源格子と、前記光源格子および前記スケールにより生成された干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、を備え、前記2以上のスケール格子は並列して配置されており、かつ、隣り合うスケール格子同士は互いに1/2周期ずれた関係にあることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (1件)：

G01D 5/38

FI (1件)：

G01D5/38 G

Fターム (18件)：

2F103BA08 , 2F103BA37 , 2F103BA42 , 2F103CA01 , 2F103CA02 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB06 , 2F103EB12 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EB33 , 2F103FA06

引用特許：

出願人引用 (9件)

光電式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-145051 出願人：株式会社ミツトヨ
光ヘッドのトラッキング誤差検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-231424 出願人：三菱電機株式会社
多座標測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-002679 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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審査官引用 (9件)

光電式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-145051 出願人：株式会社ミツトヨ
光ヘッドのトラッキング誤差検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-231424 出願人：三菱電機株式会社
多座標測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-002679 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

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