特許
J-GLOBAL ID：201003005728212371

変位計測装置

発明者：
石塚 公

石塚 公 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-250529
公開番号（公開出願番号）：特開2010-078566
出願日： 2008年09月29日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】 回折格子が形成する面内の方向(Y方向)の変位及びその面に垂直な方向(Z方向)の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。【解決手段】 第1乃至第3の回折光l1、l2、l3を発生させる第1回折格子GBS0と、被計測物と共に移動可能な第2回折格子GT0と、第2回折格子で回折した第1及び第2の回折光による干渉光を受光する第1受光部PDxと、第2回折格子で回折した第1の回折光と、第1回折格子を透過した第3の回折光とをそれぞれ反射する反射部FMと、反射部で反射され第2回折格子で回折した第1の回折光と、反射部で反射された第3の回折光と、による干渉光を受光する第2受光部PDzと、第1受光部で受光した光に基づいてY方向の変位を算出し、かつ第2受光部で受光した光に基づいてZ方向の変位を算出する演算部CUと、を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源で発生した光束を透過させ、互いに異なる方向に出射する第1、第2及び第3の回折光を含む複数の回折光を発生させる第1回折格子と、 前記第1回折格子と平行な面に設けられており、前記第1回折格子を透過した前記第1、第2及び第3の回折光を反射し、被計測物と共に移動可能な第2回折格子と、 前記第2回折格子で回折した前記第1及び第2の回折光による干渉光を受光する第1受光部と、 前記第2回折格子で回折した前記第1の回折光と、前記第1回折格子を透過した前記第3の回折光とをそれぞれ反射する反射部と、 前記反射部で反射され、さらに前記第2回折格子で回折した前記第1の回折光と、前記反射部で反射された前記第3の回折光と、による干渉光を受光する第2受光部と、 前記第1受光部で受光した光に基づいて前記第2回折格子が形成する面内の方向の変位を算出し、かつ前記第2受光部で受光した光に基づいて前記第2回折格子が形成する面に垂直な方向の変位を算出する演算部と、を有することを特徴とする変位計測装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G01D 5/36
FI (2件)：
G01B11/00 G ,  G01D5/36 A
Fターム (41件)：
2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065BB18 ,  2F065CC00 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065DD17 ,  2F065FF15 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL28 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065PP03 ,  2F065UU07 ,  2F103BA43 ,  2F103CA04 ,  2F103DA12 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB05 ,  2F103EB06 ,  2F103EB16 ,  2F103EB32 ,  2F103EC04 ,  2F103EC08 ,  2F103EC12 ,  2F103FA07
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)

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