特許
J-GLOBAL ID：201503001584395524

エネルギー分散型蛍光X線分析装置

発明者：
荒川 智

荒川 智 について

, 
熊澤 克巳

熊澤 克巳 について


出願人/特許権者：
東亜ディーケーケー株式会社

東亜ディーケーケー株式会社 について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  柳井 則子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-013173
公開番号（公開出願番号）：特開2014-145617
特許番号：特許第5817749号
出願日： 2013年01月28日
公開日（公表日）： 2014年08月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料に励起X線を照射することにより発生する蛍光X線に基づいて、前記試料中の測定対象元素を分析するエネルギー分散型蛍光X線分析装置であって、 ターゲットから発生するエネルギーE1の特性X線を含む励起X線を放射するX線源と、 前記X線源から前記試料に至る励起X線の光束の一部を遮るように設けられ、励起X線によってエネルギーE2の特性X線を補正X線として発生させる補正体と、 前記試料から発生する蛍光X線を、前記励起X線及び前記補正X線と同時に検出する検出器と、 前記検出器の出力を、エネルギー値に応じた波高値を横軸、カウント値を縦軸とするスペクトルに変換する波高分析器と、 該波高分析器から得られたスペクトルから前記試料中の測定対象元素の情報を求める演算部とを備え、 前記演算部は、エネルギーE1の特性X線に基づくピーク頂点における波高値H1とエネルギーE2の特性X線に基づくピーク頂点における波高値H2とから、エネルギー値と波高値との関係を補正し、 試料中の測定対象元素のエネルギーExの特性X線に対応する波高値Hxにおけるピークを前記試料中の測定対象元素に基づくピークであると同定することを特徴とするエネルギー分散型蛍光X線分析装置。
IPC (1件)：
G01N 23/223 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01N 23/223
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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