特許
J-GLOBAL ID:201503004291068757

硬化物膜の製造方法及び電子部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-230441
公開番号(公開出願番号):特開2015-089540
特許番号:特許第5756841号
出願日: 2013年11月06日
公開日(公表日): 2015年05月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 インクジェット装置を用いて、光硬化性及び熱硬化性を有しかつ液状である硬化性組成物を塗布する塗布工程と、 前記塗布工程後に、第1の光照射部から前記硬化性組成物に光を照射して、前記硬化性組成物の硬化を進行させて、予備硬化物膜を形成する第1の光照射工程と、 前記第1の光照射工程後の前記予備硬化物膜上にて、前記塗布工程と前記第1の光照射工程とを行い、前記予備硬化物膜上に他の予備硬化物膜を形成することにより、多層の予備硬化物膜を形成する多層化工程と、 前記多層化工程後に、前記多層の予備硬化物膜を加熱して、前記多層の予備硬化物膜を硬化させて、硬化物膜を形成する加熱工程とを備え、 前記インクジェット装置が、前記硬化性組成物が貯留されるインクタンクと、前記インクタンクと接続されておりかつ前記硬化性組成物が吐出される吐出部と、一端が前記吐出部に接続されており、他端が前記インクタンク部に接続されており、かつ内部を前記硬化性組成物が流れる循環流路部とを有し、 前記塗布工程において、前記インクジェット装置内で、前記硬化性組成物を前記インクタンクから前記吐出部に移動させた後に、前記吐出部から吐出されなかった前記硬化性組成物を、前記循環流路部内を流して前記インクタンクに移動させることにより、前記硬化性組成物を循環させながら、塗布する、硬化物膜の製造方法。
IPC (6件):
B05D 1/26 ( 200 6.01) ,  H05K 3/28 ( 200 6.01) ,  C09D 11/00 ( 201 4.01) ,  B05D 3/06 ( 200 6.01) ,  B05D 1/38 ( 200 6.01) ,  B05D 3/00 ( 200 6.01)
FI (6件):
B05D 1/26 Z ,  H05K 3/28 E ,  C09D 11/00 ,  B05D 3/06 102 Z ,  B05D 1/38 ,  B05D 3/00 A
引用特許:
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (13件)
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