特許
J-GLOBAL ID：201503004363629015
ウエット酸エッチングにおけるスラッジ制御のための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-515104
公開番号（公開出願番号）：特表2015-523306
出願日： 2013年05月28日
公開日（公表日）： 2015年08月13日
要約：
開示はガラス品のウエット酸エッチング中に生成されるスラッジを制御する方法に向けられる。制御される必要がある4つの因子は(i)溶解ガラスレベルA,(ii)HF濃度B,(iii)第2の酸の濃度C-第2の酸は強酸である、及び(iv)温度またはイオン強度を変えることで制御される、沈殿の溶解度定数D,Kspである。開示される方法はエッチャントとしてのHF及び、HCl,H2SO4,HNO3及びHClO4からなる群から選ばれる、強酸を利用する。
請求項（抜粋）：
ガラスウエットエッチングプロセスにおいてスラッジの量を制御する方法であって、HFエッチャント溶液内の水素イオン濃度をエッチャント槽への第2の強酸の添加によって制御しながらガラスをエッチングする工程を含む方法において、
前記第2の強酸が、HCl、HClO4,HNO3及びH2SO4からなる群から選ばれ、前記エッチングプロセスが15°Cから40°Cの範囲にある温度において実施され、前記エッチャント溶液内の溶解ガラスの量が10g/Lより少ない、
ことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4G059AA01
, 4G059AA06
, 4G059AC03
, 4G059BB04
, 4G059BB16
