特許
J-GLOBAL ID：201503009381762450

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明者：
生井 準人

生井 準人 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (9件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  川端 和也 ,  塩谷 隆嗣 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268151
公開番号（公開出願番号）：特開2015-125200
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：
【課題】優れたMEEF性能、焦点深度及び露光余裕度を発揮し、LWR性能、CDU性能、解像性及び断面形状の矩形性に優れるレジストパターンを形成できる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。【解決手段】本発明は、酸解離性基含有重合体、及び感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記重合体が下記式(1)で表される基を含む第1構造単位を有し、上記感放射線性酸発生体がオニウム塩を含むことを特徴とする。式(1)中、Lは、炭素数1〜20の2価の有機基である。Mは、置換若しくは非置換の炭素数1〜20の2価の炭化水素基である。LとMとは互いに合わせられこれらが結合する炭素原子と共に構成される環員数3〜20の単環の脂環構造を形成してもよい。R1は、炭素数1〜20の1価の有機基である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸解離性基含有重合体、及び 感放射線性酸発生体 を含有する感放射線性樹脂組成物であって、 上記重合体が下記式(1)で表される基を含む第1構造単位を有し、 上記感放射線性酸発生体がオニウム塩を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  C08F 220/28 ,  C08F 220/22 ,  C08F 212/06 ,  G03F 7/004
FI (6件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  C08F220/28 ,  C08F220/22 ,  C08F212/06 ,  G03F7/004 503A
Fターム (75件)：
2H125AF17P ,  2H125AF34P ,  2H125AF38P ,  2H125AF53P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ18X ,  2H125AJ45Y ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN63P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AB07R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA03P ,  4J100BA03S ,  4J100BA12P ,  4J100BA15P ,  4J100BA40R ,  4J100BA57R ,  4J100BA58R ,  4J100BB12R ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07R ,  4J100BC08P ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100BC60P ,  4J100BC83P ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA04 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (11件)
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