特許
J-GLOBAL ID：201003095796432206

ラクトン骨格を含む単量体、高分子化合物及びフォトレジスト組成物

発明者：
小山 裕

小山 裕 について

, 
田中 洋己

田中 洋己 について


出願人/特許権者：
ダイセル化学工業株式会社

ダイセル化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-331893
公開番号（公開出願番号）：特開2010-150447
出願日： 2008年12月26日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】レジスト用樹脂等に応用した場合に耐薬品性等の安定性を保持しつつ、有機溶剤に対する溶解性に優れ、加水分解性及び/又は加水分解後の水に対する溶解性を向上しうる、高機能性高分子等のモノマー成分等として有用な新規なラクトン骨格を含む単量体を提供する。【解決手段】下記式(1)【化1】(式中、Raは水素原子、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい炭素数1〜6のアルキル基を示し、R1はラクトン骨格を有する基を示し、Yは炭素数1〜6の2価の有機基を示す)で表されるラクトン骨格を含む単量体。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)
IPC (5件)：
C08F 20/28 ,  G03F 7/039 ,  C07D 307/00 ,  C07D 307/33 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C08F20/28 ,  G03F7/039 601 ,  C07D307/00 ,  C07D307/32 Q ,  H01L21/30 502R
Fターム (38件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025FA01 ,  2H025FA10 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4C037AA02 ,  4C037FA10 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL24P ,  4J100AL24Q ,  4J100AL24R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA40P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (7件)
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