特許
J-GLOBAL ID：201503010445695709
強誘電体セラミックス及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-272683
公開番号（公開出願番号）：特開2015-128091
出願日： 2013年12月27日
公開日（公表日）： 2015年07月09日
要約：
【課題】良好な圧電特性を有する圧電体膜を形成する強誘電体セラミックスの製造方法提供する。【解決手段】基板101上に蒸着法により(110)に配向したZrO2膜またはCeO2膜102を形成し、ZrO2膜またはCeO2膜102上にエピタキシャル成長によるPt膜103を接して形成し、Pt膜上に圧電体膜PZTをゾルゲル法により形成する。ZrO2膜またはCeO2膜102が(110)に配向し、ZrO2膜またはCeO2膜102をPt膜103と接して形成すると、Pt膜103が(100)または(200)に配向する【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(110)に配向したZrO2膜と、
前記ZrO2膜上に接して形成されたPt膜と、
前記Pt膜上に形成された圧電体膜と、
を具備することを特徴とする強誘電体セラミックス。
IPC (4件)：
H01L 41/319
, H01L 41/187
, H01L 41/29
, H01L 41/047
H01L41/319
, H01L41/187
, H01L41/29
, H01L41/047
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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