検査システムおよび検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-243561
公開番号（公開出願番号）：特開2015-200632
出願日： 2014年12月01日
公開日（公表日）： 2015年11月12日
要約：

【課題】検査精度の向上を図る。【解決手段】実施形態の検査システムは、光の強度の周期的な時間変化および空間変化を与える面的な照明部と、時間相関カメラまたはそれと等価な動作をする撮像システムによって時間相関画像を生成する時間相関画像生成部と、時間相関画像より、検査対象面の法線ベクトルの分布と対応した特徴であって、周囲との違いおよび参照表面との違いのうち少なくとも一方によって異常を検出する特徴を算出する、演算処理部と、を備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光の強度の周期的な時間変化および空間変化を与える面的な照明部と、時間相関カメラまたはそれと等価な動作をする撮像システムによって時間相関画像を生成する時間相関画像生成部と、前記時間相関画像より、検査対象面の法線ベクトルの分布と対応した特徴であって、周囲との違いおよび参照表面との違いのうち少なくとも一方によって異常を検出する特徴を算出する、演算処理部と、を備えた検査システム。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 J , G01B11/30 A

Fターム (35件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB07 , 2F065HH06 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065NN01 , 2F065NN08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ42 , 2G051AB02 , 2G051AB10 , 2G051AC21 , 2G051BA20 , 2G051BB07 , 2G051BC01 , 2G051BC06 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CD01 , 2G051DA03 , 2G051EA02 , 2G051EA08 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA25 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 2G051EC05 , 2G051ED08

引用特許：

審査官引用 (8件)

時間相関演算システムおよび時間相関カメラ
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-112037 出願人：国立大学法人東京大学
検査方法及び検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-139509 出願人：富士通株式会社
移動体情報取得装置および画像取得装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-135507 出願人：国立大学法人東京大学

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